微渠道測試環路(氣體)

此一環路測試系統主要用來從事微流體流動之相關數據擷取,藉以分析其物理問題,並將所得結果與解析解及DSMC法作比較。整體測試系統如圖一所示,環路入口連接高壓測試氣體,分別藉由壓力調節閥控制進氣壓力及質量流量控制器(Mass flow controller)控制流量,為了防止微粒子進入微渠道造成堵塞,因此,在測試區之前加裝微過濾器(Micro filter; 可過濾至0.003μm微粒)保持氣體之清淨度,為控制相關實驗參數(Qin, Re, Pin…..),在環路與測試區進口處連接微質量流量計(Micro mass flow meter; Range=0~10 SCCM)讀取流量值,而在測試區進出口之間連接微壓力傳送器(Micro pressure transducer)量測壓降。測試用之微渠道則使用濕蝕刻製程技術(Wetetching process technology)製作,如圖二所示。

圖一 圖二
維渠道測試環路(氣體)-1 維渠道測試環路(氣體)-2